国的光刻机技术,曾经领先于世界,处于最先进的水平。
1964年我国科学院研制出65型接触式光刻机;1970年代,我国科学院开始研制计算机辅助光刻掩膜工艺;清大研制第四代分部式投影光刻机,并在1980年获得成功,光刻精度达到3微米,接近国际主流水平。而那时,光刻机巨头asml还没诞生。
1982年,科学院109厂研制出kha-75-1光刻机,这些光刻机在当时的水平均不低,最保守估计跟当时最先进的相比最多也就不到4年。
1985年,机电部45所研制出了分步光刻机样机,通过电子部技术鉴定,认为达到米国4800dsw的水平。这应当是我国第一台分步投影式光刻机,我国在分步光刻机上与国外的差距不超过7年。
很可惜,光刻机研发至此为止,我国开始大规模引进外资,有了造不如买、科技无国界的思想。光刻技术和产业化停滞不前。放弃电子工业的自主攻关,诸如光刻机等科技计划被迫取消,导致20年技术积累全部付诸东流。
1994年,江城无线电元件三厂破产改制,卖副食品去了。
九十年代以来,光刻光源已被卡在193纳米无法进步长达20年,这个技术非常关键,这直接导致asml如此强势的关键。直到二十一世纪,我国才刚刚开始启动193纳米arf光刻机项目,足足落后asml20多年。
光刻机是采用类似照片冲印的技术,把掩膜板上的精细图形通过光线的曝光印制到硅片上的设备,是制造芯片的核心装备,也是目前顶尖科技的代表。
高精度光刻机的制造工艺极其复杂,核心零件便有8万个左右,共需要超10万个零部件,因此,光刻机也有了“现代光学工业之花”的称号。如此高的制造门槛,也就导致了光刻机制造领域的玩家也寥寥无几。
还好,王林出现了。
他在1995年横空宣布,进入半导体产业。
这个时间,正好是我们电子产业即将断代的时候,也是我国光刻机产业还不是太落后于外国的时候!
王林伸出他的大手,接住了时代赋予他的半导体接力捧!
他能否带领爱秀人,在半导体领域闯出一片别样的蓝天?