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作为目前西方世界上唯一能够生产最先进EUV光刻机的制造商，AS-ML哪怕已经掌握了5纳米甚至是3纳米这种极其先进半导体制程的核心光刻机。但是在它发展的过程中，却也并非一帆风顺。

按照历史来看，有些魔幻的是，在2006年之前，全世界半导体霸主还是一个叫做尼康的企业。

霓虹的尼康公司在上世纪八十年代推出了光刻机NSR-1010G和商用的步进式光刻机Stepper，成为80年代半导体光刻机产业的翘楚，一时间霓虹在科技产业上有了明日之星的范。

“十分巧合”的是，同年代，荷兰飞利浦公司与一家荷兰芯片设备代理商合资成立了AS-ML。

成立之初，AS-ML只有账面上的几十个员工，办公地点也是传说中的简易厂房。

而后这家不被人看好的公司，在成立的第一年就能神奇的开发出第一代的步进式扫描光刻机PAS2000，并且以此十分顺利的争取到市场订单。

等到九十年代，AS-ML更是直接在北美的纳斯达克以及荷兰阿姆斯特丹交易所进行同步上市，而且还成功了。

并且在上市成功之后，AS-ML不仅赚了大钱，还十分果断的从飞利浦手中回购了全部的股份，实现真正意义上的完全独立。

随后在2004年AS-ML研发出了第一台浸润式光刻机样机，并且极其顺利的先后拿下IBM和台积电等国际主流大客户的订单。

在成为国际顶级的光刻机巨头之后，AS-ML又一次“十分幸运”的接收到了EUV遗产。

这個事情还要从1997年英特尔和美利坚能源部牵头成立EUVLLC联盟的时候说起。

当时EUV技术发展缓慢，并且需要的资源太多，所以在“公平公开”的竞争当中，美利坚最终选择了当时技术储备还不强的AS-ML加入EUV联盟。

ASML由此获得了美利坚甚至是世界上最领先的半导体技术、材料学、光学以及精密制造等相关技术的优先使用的资格，同时AS-ML也十分“懂规矩”的将自己的生产、接受监管的权限交给了山姆大叔政-府。

数年时间，EUVLLC联盟的研发人员发表了数百篇论文，大幅推进了EUV技术的研究进展，证明了EUV光刻技术的可行。